微量水分析儀的敏感元件是水感性石英晶體，它是在石英晶體表面涂覆了一層對(duì)水敏感(容易吸濕也容易脫濕)的物質(zhì)。當(dāng)濕性樣品氣通過(guò)石英晶體時(shí)，石英表面的涂層吸收樣品氣中的水分，使晶體的質(zhì)量增加，從而使石英晶體的振蕩頻率降低。然后通入干性樣品氣，干性樣品氣萃取石英涂層中的水分，使晶體的質(zhì)量減小，從而使晶體的振蕩頻率增高。在濕氣和干氣兩種狀態(tài)下振蕩頻率的差值，與被測(cè)氣體中水分含量成比例。由于吸附和脫附的交替轉(zhuǎn)換，使晶體表面質(zhì)量發(fā)生變化，從而振蕩頻率發(fā)生變化，水分濃度通過(guò)測(cè)量晶體振蕩頻率的變化而被測(cè)出來(lái)。
校驗(yàn)時(shí)，干氣通過(guò)內(nèi)部的水分發(fā)生器，加入一定量的水分，形成校驗(yàn)用的標(biāo)氣。傳感器交替通入干參比氣和水分發(fā)生器來(lái)的標(biāo)準(zhǔn)氣，測(cè)量出標(biāo)準(zhǔn)氣的水分含量值，測(cè)出的水分含量值與儲(chǔ)存的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值比較，如果數(shù)值在允許范圍內(nèi)，分析儀會(huì)自動(dòng)調(diào)整校準(zhǔn)，如果數(shù)值超出允許范圍，會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，需更換水分發(fā)生器。
微量水分析儀特點(diǎn)：
1.采用通用內(nèi)繞式玻璃電解池(內(nèi)徑0.8mm極距0.08mm或內(nèi)徑1.0極距0.1)，膜層附著均勻、牢固、不流失、響應(yīng)快，吸收效率高，使用壽命長(zhǎng)，正常情況下，可終身使用。
2.采用氣流系統(tǒng)，應(yīng)用旁通流量自動(dòng)調(diào)節(jié)新技術(shù)，增加了三種功效：安全功效：當(dāng)系統(tǒng)壓力達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)，旁通閥自動(dòng)打開(kāi)，從而保證了高壓氣源檢測(cè)中，儀器不會(huì)因氣源閥泄漏或不慎的測(cè)量操作所損傷。自動(dòng)調(diào)節(jié)功效：當(dāng)氣源壓力變化時(shí)，旁通閥能自動(dòng)開(kāi)大或關(guān)小，使測(cè)量流量始終保持穩(wěn)定，從而保證測(cè)量結(jié)果，不受氣源變化的影響。自動(dòng)關(guān)閉功效：當(dāng)氣源關(guān)閉時(shí)，旁通閥自動(dòng)關(guān)閉，以防止大氣水份直接擴(kuò)散到電解池。
3.管路全部采用特制憎水不銹鋼軟性管，氣體在入檢測(cè)池前、增設(shè)了入口濾器，在池尾又設(shè)置一道防逆濾器，不僅大大延長(zhǎng)了電解池的使用周期，而且儀器的快速和準(zhǔn)確性無(wú)明顯影響。
4.本底檢測(cè)，采用封閉法，操作簡(jiǎn)單。
5.電解池恒溫，保證了儀器在較低的環(huán)境溫度下，仍具有較快的響應(yīng)速度。
6.有特制高壓氣體取樣器和憎水不銹鋼軟性取樣管路。
